中文大學校刊 一九七五年夏

備設溫低 低溫及超導性的硏究� 電子學系的低溫設備主要是用以硏究超� 導體元件和物質的電子特性，設備分爲兩個� 低溫恒溫器，一個裝有六特斯拉(磁通密度� 單位)的超導電的磁石和溫度控制樣本嵌� 制，另一個是磁性罩 溫恒溫器，裡面裝置� 足以測量至l0 -l6 T/√Hz電塲和lo -13 V電壓的� 超導量子元件。目前張樹成博士正在硏究大� 結晶件約瑟夫遜效應，並且與戴克利先生(Mr.� J . S . �Dahele)，合作研究超導電微帶的幅射性� 損耗。此外，在進行中的實騐尙包括與物理� 系合作的用高能量激光波動增强超導件的表� 面臨界電流和臨界溫度。� 半導體元件的硏究� 電子學系有關半導體元件的研究是由郭� 漢利博士、廖約克博士及林逸華博士合作進� 行;而半導體元件的製造最初是與香港大學� 電機工程系合作研究的，目前已可製造雙晶� 體結和金屬氧化半導體的晶體管，產量大致� 上不錯。製造晶體管的實騐室則正在設計一� 種分步驟重複照相機以爲製造掩膜片之用，� 並且建立一個製造集成電路的表層系統。� 同時電子學系又與本港一所半導體元件� 製造廠合作，試騐新的旋轉擴散方法。現在� 試騐成功，合作的雙方都可以用這方法生產� 半導體元件。� 至於對旋長氧化物的特性進行硏究，步� 驟是：用旋轉方法將氧化物從酒精溶液放置� 在硅晶片上，然後將晶件高溫烘干和堅膜。� 這塊氧化晶片須經過多種檢查：紅外綫的光� 譜儀、重量分析、腐蝕等級的量度、傳導的� 量度和CV-GV分析。硏究結果顯示這些氧化� 物的品質接近熱氧化物，可以用作半導體元� 件內的活躍氧化物。� 現在另一項研究是關於應用旋長氧化物� 於電荷耦合元件的製造。電荷耦合元件的組� 成部分是一鏈電荷存儲的單元，通過它們把� 電荷傳送。如果這項研究成功的話，則可以� 製造烟盒大小的電視攝影機、成本低的電腦� 記憶系統以納入小型電子計算機內、以及火� 柴頭大小的類似聲學延遲綫。而爲了確保高� 電荷轉移的效率，電極之間的距離一定要很� 小(典型爲lμm)，如果目前試騐的以旋長� 氧化物用於熱氧化物上的方法成功，則可以� 達到任何所需的小距離。現在用這方法已經� 製造了一個兩面七位的電荷耦合元件。� 統系爐散擴下件條塵無 9